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  • 聚焦离子束-扫描电镜-能谱仪系统

    产品介绍

    型号及主要参数

    厂家:FEI(美国)

    型号:FEI-Scios 2 Hivac

    主要参数:

    离子束分辨小于3nm@30KV

    电子束分辨率:workspace<1nm@15KV,workspace<1.6nm@15KV

    样品XY方向移动范围不低于110nm,Z方向不低于60nm,可绕Z轴旋转任(360°

    意角度倾斜角度T范围不小于-1590°


    用途及功能:

    扫描电镜主要用于观察、分析、记录样品的微观形貌,

    聚焦离子束用于样品微纳米尺度下的切割、表面修饰、TEM制样

    刻蚀能谱仪主要用于样品元素分析


    联系人: 宋老师

    电话: 18012729380

    邮箱: songxx@jitriioo.com

    • 产品名称:聚焦离子束-扫描电镜-能谱仪系统
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